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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

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2023-09-29 公布专利

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2023-09-19 公布专利

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国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]可旋转溅射靶材支撑圆柱、可旋转溅射靶材、制造可旋转溅射靶材的方法以及涂覆设备-CN200980142266.7无效
发明人：迈克尔·舍弗尔;罗兰·特拉斯里;刘健 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2009-10-23 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H01J37/34 文献下载
摘要：一种溅射设备的可旋转靶材装置，该可旋转靶材装置包括：可旋转靶材基座(4)，用于托持固体靶材圆柱(5)，该固体靶材圆柱具有内轴向面(54)、外轴向面(55)以及至少一个前面(56)，该前面连接该内轴向面与该外轴向面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件(23；230)、第一面(3)以及第二面(250；81)，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。
旋转溅射支撑圆柱制造方法以及设备

[发明专利]旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置-CN201910273232.7在审
发明人：陈宝忠;徐国军;万捷;张蛟 -专利权人：领凡新能源科技（北京）有限公司
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转靶材的绑定方法，涉及靶材技术，能够解决通过人工钎焊绑定靶材费时费力的问题。所述旋转靶材的绑定方法包括：将背衬管装配在可旋转底座上；将各段靶材管穿套在所述背衬管上，并对各段靶材管之间的拼接缝隙进行密封，各段靶材管形成环绕所述背衬管的靶材材料层；对所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙抽真空；向所述背衬管与所述靶材材料层之间的间隙灌入导电胶，并通过旋转所述可旋转底座使所述导电胶在所述间隙中分布均匀。
旋转绑定方法装置

[发明专利]一种磁控溅射装置及磁控溅射方法-CN201610708664.2有效
发明人：闫宗楷;黄楷;向勇;李响;彭志 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-08-23 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁控溅射装置，包括磁力发生机构、至少一靶材区与可旋转基底，所述靶材区固定至少一靶材，靶材中心与靶材区中心重合或靶材中心到其所在靶材区中心距离相同，该磁力发生机构平行于靶材设置，基底相对于靶材设置，所述磁力发生机构产生磁力线，磁力线映射到靶材表面，使靶材表面形成有环形均匀分布的多个刻蚀区；本发明还涉及一种磁控溅射方法，包括如下步骤：提供靶材，并在靶材表面形成环形均匀分布的多个刻蚀区；提供可旋转基底，该基底相对于靶材设置，以使基底旋转时经过靶材表面形成的每一条刻蚀区。
一种磁控溅射装置方法

[发明专利]用于可旋转阴极的遮蔽装置、可旋转阴极以及用于遮蔽沉积设备中的暗空间的方法-CN201480078747.7有效
发明人： H·吴尔斯特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-05-09 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： H01J37/34 文献下载
摘要：根据本公开，提供一种用于可旋转阴极的遮蔽装置(20)以及一种用于遮蔽沉积设备中的暗空间区域的方法，所述可旋转阴极具有用于将材料沉积到基板上的可旋转靶材(10)。所述遮蔽装置(20)包括：遮蔽件(21)，配置成用于覆盖可旋转靶材(10)的部分；以及固定件(80)，用于将所述遮蔽件(21)连接至所述可旋转靶材(10)。固定件(80)配置成用于与所述遮蔽件(21)啮合，以允许所述遮蔽件在可旋转靶材的轴向上基本上远离可旋转靶材(10)的中心膨胀。
可旋转靶材阴极可旋转遮蔽件遮蔽装置沉积设备固定件遮蔽啮合材料沉积空间区域基板配置膨胀覆盖

[发明专利]旋转靶材制备设备-CN201711478720.9有效
发明人：黄宇彬;阿南·辛格·迪欧达特;谭继军;谭建林;文崇斌;朱刘 -专利权人：清远先导材料有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种旋转靶材制备设备，由加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置与加热装置连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置与喷出装置对接，待成型的靶材管材沿其轴向与喷涂装置内的喷涂通道通过，喷涂装置上设置喷涂腔，喷出装置通过喷涂腔通入喷涂通道内，待成型靶材管材穿过喷涂通道的过程中，可通过喷出装置将融化的靶材原料喷涂到靶材管材的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。
旋转制备设备

[发明专利]旋转靶材内壁喷砂设备-CN202110940448.1在审
发明人：石煜;曾墩风;朱永涯;刘玉奇 -专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B24C3/32 文献下载
摘要：本发明提供一种旋转靶材内壁喷砂设备，通过将靶材放到主动辊轮和从动辊轮中间上方部分处，伺服电机带动主动辊轮转动，从而带动靶材转动，通过横向电机带动伸缩杆伸入到靶材内部，喷砂枪伸在靶材内部对靶材内壁进行喷砂，可旋转可伸缩从而对靶材内壁进行全方位的喷砂，横向电机还可通过纵向调整电机调整高度，从而调整喷砂枪内靶材内部的位置，适应性好。
旋转内壁喷砂设备

[发明专利]一种旋转靶材退绑方法及夹具-CN202110420643.1在审
发明人：王英洁;文崇斌;胡智向;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及溅射镀膜技术领域，公开了一种旋转靶材退绑方法及夹具，其中，旋转靶材退绑方法包括以下步骤：用高温胶纸将需退绑的靶材下方包裹；用硅胶垫圈塞到需退绑的靶材下方缝隙的三个点上，将靶材进行旋转加热，使铟从靶材缝隙流出；待铟不再外流，再持续保温一段时间；将适配的退绑夹具固定在靶材正中间，将靶材从背管上端口取下。通过本方法退绑的靶材可最大限度提高良品率，退绑后的靶材经扫描后无裂纹等问题可重新利用并绑定，减少了废品产生。另外，本方法直接采用退绑夹具固定在靶材的中间将靶材取下，方便操作。
一种旋转靶材退绑方法夹具

[发明专利]一种柱状靶材水冷旋转单元-CN202210214204.X在审
发明人：周磊;窦沛静;丁媛 -专利权人：四川艾庞机械科技有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种柱状靶材水冷旋转单元，涉及靶材冷却设备技术领域，能够在为柱状靶材提供旋转驱动以及供电的同时，还能够保证冷却效果。一种柱状靶材水冷旋转单元包括壳体、水冷单元、旋转驱动单元以及通电单元。水冷单元可转动地设置在壳体中。靶材设置在水冷单元端部。旋转驱动单元设置在水冷单元上。旋转驱动单元用于驱动水冷单元转动进而带动靶材转动。通电单元设置在壳体上并与水冷单元电连接。水冷单元在旋转驱动单元的驱动下，可以带动靶材旋转的同时冷却靶材。通电单元可以在接通水冷单元，为靶材通电。同时通过冷却单元与靶材的充分接触，使得靶材的散热面积增加，加强散热效果。
一种柱状水冷旋转单元

[实用新型]适用于磁控溅射镀膜的旋转圆柱形靶-CN202223112840.6有效
发明人：张家震;王健;卞恒卿;金虎范 -专利权人：青岛融合智能科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于磁控溅射镀膜的旋转圆柱形靶，属于旋转圆柱形靶技术领域。其技术方案为：包括靶管，靶管表面涂覆有靶材，靶材由第一靶材和第二靶材拼接而成，第一靶材和第二靶材的分界线沿靶管轴向延伸。本实用新型实现了两种靶材的混合，可在玻璃基底上镀上掺杂金属的复合介质膜，且扩大了可镀膜基底材料的种类，不仅可镀制管状、条状等可旋转的材料，还可镀制大面积平板材料。
适用于磁控溅射镀膜旋转圆柱形

[发明专利]一种旋转钼靶材的焊接方法-CN201610762764.3有效
发明人：张学文;胡清熊;祝永华;李云 -专利权人：常州苏晶电子材料有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明涉及靶材焊接技术领域，更具体地说，涉及一种旋转钼靶材的焊接方法，该方法包括：材料准备、在竖直方向上的第一旋转钼靶材的焊接、将焊接装置倒立后的第二旋转钼靶材的焊接以及第三旋转钼靶材的焊接。本发明的技术方案中采用的铟基钎料可完全满足靶材的导电导热性能要求，铟基钎料及背管可以循环使用，采用竖立钎焊方式可方便操作者对旋转钼靶材与背管相对稳定尺寸的获得，靶材内部残余应力较低，工艺操作简单，方便实用
钼靶材焊接靶材背管铟基导电导热性能焊接技术领域材料准备残余应力方便操作工艺操作焊接装置钎焊方式倒立钎料竖直竖立

[发明专利]具有旋转磁铁组件和中央馈送射频功率的物理气相沉积腔室-CN201180027524.4有效
发明人：艾伦·里奇;基思·米勒 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-03-31 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：在某些实施例中，物理气相沉积装置(PVD)可包括：靶材组件，所述靶材组件具有包含待沉积于基板上的源材料的靶材、反向配置于靶材背面并沿靶材的周围边缘电耦接至靶材的相对源分配板、和配置在靶材背面与源分配板之间的空腔；在与靶材的中央轴重合的一点处耦接至源分配板上的电极；和包括可旋转磁铁的磁控管组件，可旋转磁铁配置于空腔内且具有与靶材组件的中央轴对齐的旋转轴，其中所述磁控管组件并非由电极驱动。
具有旋转磁铁组件中央馈送射频功率物理沉积

[发明专利]一种ITO靶材加工装置-CN202310007354.8在审
发明人：郭庆生;汪强;钟小华;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B23B31/40 文献下载
摘要：本发明属于靶材制造技术领域，具体公开了一种ITO靶材加工装置，其包括：旋转支架和多个膨胀工位；旋转支架设置有多个安装膨胀工位的安装孔；旋转支架的外侧面设置有容纳凹槽；膨胀工位具有设置在容纳凹槽内的膨胀外凸部，旋转支架内设置有与多个膨胀工位连通的通气通道；当通气通道充入高压气体后，膨胀工位的膨胀外凸部伸出容纳凹槽，便可支撑、装夹ITO靶材，利用普通车床的主轴可带动ITO靶材在车床上进行修整加工。相比三爪卡盘的装夹方式，旋转支架与靶材的接触面积更大，受力更加均匀，减少靶材报废的几率，降低废品率；其次，相比人工修整的加工方式，采用普通车床配合旋转支架加工，可提高靶材的加工精度，提高靶材的加工合格率
一种 ito 加工装置

[实用新型]一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶-CN202020783003.8有效
发明人：朱建明 -专利权人：肇庆市科润真空设备有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，包括引弧装置、阳极装置和旋转式电弧靶材装置；旋转式电弧靶材装置包括环形弧靶材和靶材旋转驱动机构，环形弧靶材设于靶材旋转驱动机构的输出端，引弧装置和阳极装置分别设于环形弧靶材相对的两面外侧本适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶由于采用了旋转式的电弧靶材装置可有效延长靶材的连续使用寿命，可较好地应用于连续镀膜、长时间工作的生产线上，同时，由于环形弧靶材在镀膜过程中是处于不断旋转的状态，因此溅射弧光不会固守在同一靶材的同一固定范围内，在旋转过程中对环形弧靶材进行不断冷却，可达到较好的冷却效果，较大程度减少多弧液粒的产生，从而改善镀膜效果。
一种适用于连续镀膜生产寿命多弧靶

[发明专利]一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备-CN201510672927.4在审
发明人：杜建华;王灿;何晓龙;孙雪菲 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-10-16 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及显示设备制造领域，公开一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备，靶材更换装置包括，支架；安装于支架上的安装轴；套设于安装轴外侧、且可绕安装轴的轴心线旋转的靶材安装体，靶材安装体具有至少两个用于安装靶材的靶材安装面，当靶材安装体绕安装轴的轴心线旋转时，每一个靶材安装面可在工作状态朝向和闲置朝向之间切换；用于驱动靶材安装体绕安装轴的轴线旋转的第一驱动机构，在需更换靶材时，可通过第一驱动机构驱动靶材安装体旋转，进而将安装于靶材安装体的靶材安装面上的所需靶材由闲置朝向切换至工作状态朝向，进而使所需靶材参与工作，切换靶材的过程不需打开腔室，节省了打开腔室和抽取真空的时间，提高了生产效率。
一种设备更换装置

[发明专利]用于支撑可旋转靶材和溅射设备的装置-CN201180027442.X有效
发明人：法兰克·施纳朋伯格 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-03-11 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： H01J37/34 文献下载
摘要：本发明提供一种用于支撑可旋转靶材(10)的装置(100)和具有此装置(100)的沉积设备(200)。该装置包括：主体(110)；第一流体导管(131)，其在主体(110)中用于从可旋转靶材(10)接收流体；以及第二流体导管(132)，其在主体(110)中用于向可旋转靶材(10)提供流体。第一流体导管(131)和第二流体导管(132)在可旋转靶材(10)的旋转轴(50)的方向上所延伸的投影平面上的投影彼此重叠。
用于支撑旋转溅射设备装置

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